한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

$10^{-11}$Torr의 초고진공 실현

Achievement of a $10^{-11}$ Torr Ultrahigh Vacuum System

  • 유운종 (베리안 코리아(주) 연구소) ;
  • 이재선 (베리안 코리아(주) 연구소) ;
  • 김명길 (베리안 코리아(주) 연구소) ;
  • 서성기 (베리안 코리아(주) 연구소)
  • 발행 : 1992.02.01
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초록

초고진공 시스템을 구성할 때 고려할 요소는 진공용기의 세척과 표면조도, 진공용 기의 재질, 기타 방출기체의 요인이다. 초고진공용기를 전해연마 처리하였으며, 처리한 진공 용기의 표면조도를 표면 조도기(surface profiler)로 측정하였다. 진공용기는 직경 300mm이 고 높이는 720mm로 하였다. 설치한 초냉각 펌프로 18시간 배기후 2.9 $\times$ 10-10Torr를 얻었 으며, 계속해서 초고진공용기를 250에서 60시간 baking 후 최저도달 압력이 3.08 $\times$ 10-11torr에 도달하였다 누드 이온게이지를 이용하여 초고진공용기의 최저도달압력과 누출비 를 측정하였다.

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