음향현미경의 V(z)곡선을 이용한 재료의 특성에 관한 연구

A study on the characteristic of material using V(z) curve of acoustic microscope

본 논문에서는 음향현미경의 V(z)곡선을 해석하고 실험결과와 비교 고찰하였으며 V(z)곡선과 재료의 탄성 특성사이의 관계를 연구분석하였다. V(z)곡선의 이론적인 해석은 angular spectrum과 ray optics 이론을 사용하였고 실험은 동작주파수가 3MHz인 음향현미경을 구성하여 행하였다. 실험결과 V(z)곡선은 재료마다 고유의 형태를 나타내며 V(z) 곡선에서 극대치 사이의 간격은 재료에서 Rayleigh 파의 음향속도를 산출하는 데 이용될 수 있음을 보였다.

In this paper, V(z) curve has been analyzed theoretically and compared with the experimental result, and the relation between the V(z) curve and the material characteristic has been studied. Angular spectrum and ray optics theory have been used for theoretical analysis and the acoustic microscope operating at a center frequency of 3 MHz has been used for experiment. In experiment, it has been shown that each material has a V(z) curve of a unique form and the interval of dips appearing in the V(z) curves have been used to determine the Rayleigh wave velocity.