전력 VDMOSFET의 2차원Computer Simulation

Two Dimensional Computer Simulation of Power VDMOSFET

본 논문에서는 전력 VDMOSFET를 2차원 수치해석하여 I_V특성을 구할 수 있는 computer program을 작성하였고 이 program에 의해서 전력 수직이중확산형 MOS(VDMOS)의 I-V 분포 특성, 전위 및 전자정공 농도 분포특성이 computer simulation되었다. 또 teansconductance, on-resistance 및 표면 이동도 model이 적용된 I_V특성이 simulation되어 실험값 및 선행연구자의 결과값과 비교되었다. 기본 방정식은 유한차등분법(F.D.M)에 의해서 해석되었고 Gummel이 알고리즘과 Mock의 식이 적용 되었다.

Two dimensional numericl analysis program of power VDMOSFET structure has been developed. Modeling for equipotential distribution, current flow pattern and carrier distribution are presented. I-V characteristic curves due to saturation velocity, mobility value, transconductance and on-resistance are studied by comparison of computer simulated results and exeperimental data. These are found to agree with the simulated results and experimental data.