High Efficiency Power Supply for Plasma Reaction of Flexible Electrode

유연전극의 플라즈마 반응을 위한 고효율 전원장치

  • Kwak, Bongwoo (EV Components & Materials Group, Korea Institute of Industrial Technology) ;
  • Kim, Myungbok (EV Components & Materials Group, Korea Institute of Industrial Technology)
  • 곽봉우 (한국생산기술연구원 EV부품소재그룹) ;
  • 김명복 (한국생산기술연구원 EV부품소재그룹)
  • Published : 2019.11.22

Abstract

본 논문은 유연전극의 플라즈마 반응을 위한 고효율 전원장치에 대한 연구이다. 유연전극은 저온 플라즈마 방전으로, 수 kV의 AC형태의 고전압 및 소전력 구동 사양이 요구된다. 상용전원을 사용하는 유연전극용 고전압 전원장치는 AC-DC, DC-AC로 변환이 가능한 2단 구조를 갖는다. 1단은 낮은 전력에서 높은 효율을 달성 할 수 있는 CrM(Critical Conduction Mode) PFC와 전부하 영역 소프트 스위칭을 통해 고효율 달성이 용이한 LLC 공진 컨버터를 사용하였다. 유연전극은 사양에 따라 커패시턴스가 달라진다. 따라서, 본 논문에서는 유연전극 사양에 따른 공진 주파수의 최적화를 통해서 유연전극의 플라즈마 반응 및 특성 시험을 위해 고효율 전원장치를 구성하였다. 실험을 통해서 유연전극용 고효율 전원장치를 검증하였다.

Keywords