이오나이저를 위한 높은 전압 변환비를 가지는 전력변환회로 설계

Design of High Voltage Conversion Ratio Power Conversion Circuit for Ionizer

  • 소평호 (전자제어공학과, 한밭대학교) ;
  • 최연우 (전자제어공학과, 한밭대학교) ;
  • 이병희 (전자제어공학과, 한밭대학교)
  • So, Pyung-Ho (Dept. of Electronics and Control Engineering, Hanbat National University) ;
  • Choi, Yeon-Woo (Dept. of Electronics and Control Engineering, Hanbat National University) ;
  • Lee, Byoung-Hee (Dept. of Electronics and Control Engineering, Hanbat National University)
  • 발행 : 2017.11.24

초록

이오나이저는 에어컨이나 공기청정기와 같은 전자기기에서의 공기 정화기능이나 반도체 장비에서 웨이퍼에 먼지가 부착 되는 문제를 해결하기 위한 정전기 제거 기능 등의 용도로 활용되고 있다. 이오나이저의 동작을 위해서는 교류나 직류 형태를 가지는 수 kV의 고전압을 발생시킬 수 있는 높은 전압 변환비를 가지는 전원장치가 필요하다. 본 논문에서는 5 V 전원을 입력으로 하고, 5 kV 전원을 출력으로 하는 직류 형태의 이오나이저용 전력변환회로의 소형화 및 저가격화를 목표로 설계하고 검증한 내용에 대하여 논의하고자 한다.

키워드