EDISON SW 활용 경진대회 논문집 (Proceeding of EDISON Challenge)

한국과학기술정보연구원 (Korea Institute of Science and Technology Information)
권호 표지

Lattice Boltzmann Method를 이용한 AFM 탐침과 표면 사이에 생성되는 물 메니스커스 특성 전산 모사

  • 김기덕 (부산대학교 나노에너지공학과) ;
  • 변기상 (부산대학교 나노에너지공학과) ;
  • 김효정 (부산대학교 나노에너지공학과) ;
  • 장준경 (부산대학교 나노에너지공학과)
  • 발행 : 2016.03.22
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초록

이번 연구에서는 현재 반도체 제조 공정에 응용 가능성이 높은 DPN(Dip Pen Nanolithography)의 주요 요소인 탐침과 기판 사이의 물 메니스커스 형성에 관한 것이다. DPN의 해상도가 높을수록 더 미세한 공정을 손쉽게 수행 할 수 있기 때문에 현재 중요한 연구 과제 중 하나이다. 이번 실험에서는 기판과 탐침의 습윤도(wettability), 탐침의 모양 그리고 탐침과 기판 사이의 거리 변화에 따른 물 메니스커스 형성 정도를 실험하였다. 그 결과 탐침이 뾰족할 수록 형성이 잘 되지 않는 것으로 나왔다. 또한 좁은 계(confined system)가 기판과 탐침 사이에서만 형성되는 것이 아니라 탐침 상단에서도 형성되는 것으로 관찰되었다.

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