Source-Overlapped Gate Length Effects at Tunneling current of Tunnel Field-Effect Transistor

소스영역으로 오버랩된 게이트 길이 변화에 따른 터널 트랜지스터의 터널링 전류에 대한 연구

The characteristics of tunnel field-effect transistor(TFET) structure with source-overlapped gate was investigated using a TCAD simulations. Tunneling is mostly divided into line-tunneling and point-tunneling, and line-tunneling is higher performance than point-tunneling in terms of subthreshold swing(SS) and on-current. In this paper, from the simulation results of source-overlapped gate length effects at silicon(Si), germanium(Ge), Si-Ge hetero TFET structure, the guideline of optimal structure with highest performance are proposed.

TCAD 시뮬레이션을 이용하여 소스영역으로 오버랩된(overlapped) 게이트를 가진 터널링 전계효과 트랜지스터(Tunnel Field-Effect Transistor; TFET)의 오버랩된 게이트 길이에 따른 터널링 전류 특성을 조사하였다. 터널링은 크게 라인터널링과 포인트 터널링으로 구분되는데, 라인터널링이 포인트터널링보다 subthreshold swing(SS), on-current에서 더 높은 성능을 보인다. 본 논문은 Silicon, Germanium, Si-Ge Hetero TFET구조에서 게이트 길이를 소스영역으로 오버랩될 경우에 포인트 터널링과 라인터널링의 효과를 조사해서 SS와 on-current에 최적합한 구조의 가이드라인을 제시한다.