Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2016.02a
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- Pages.353.1-353.1
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- 2016
Plasma Dealloying 공정을 통한 Nanoporous Thin Film 제작 및 특성분석
- Lee, Geun-Hyeok ;
- An, Se-Hun ;
- Jang, Seong-U ;
- Hwang, Se-Hun ;
- Yun, Jeong-Hyeon ;
- Im, Sang-Ho ;
- Han, Seung-Hui
- 이근혁 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 안세훈 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 장성우 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 황세훈 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터) ;
- 윤정현 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
- 임상호 (고려대학교) ;
- 한승희 (한국과학기술연구원 광전하이브리드연구센터)
- Published : 2016.02.17
Abstract
다공성 물질은 동공의 크기에 따라 미세동공(Micropore), 메조동공(Mesopore), 거대동공(Macropore)으로 나누어 분류한다. 다공성 재료의 장점은 높은 비표면적으로써, 촉매, 센서, 연료전지 전극, 에너지 저장장치 등으로의 이용 가능성을 보여주는 연구가 활발히 보고되고 있다. 종래의 연구는 두 가지 이상의 원소로 구성된 박막을 제작한 후 전기화학적 분해법, 선택적 용해법 등 습식공정을 통해 다공성 구조체를 제작하였다. 하지만 본 연구에서는 Au, Ag 타겟과