Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2016.02a
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- Pages.339.2-339.2
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- 2016
Ti/Al/Ti 전극의 Electro-Migration신뢰성 평가
- Published : 2016.02.17
Abstract
본 연구에서는 Ti/Al/Ti 금속 배선의 Electro-Migration(EM) 현상을 분석했다. Van der Pauw, Greek Cross bridge, Straight line linear line bridge를 결합한 패턴을 제작하여, 온도 변화에 따른 EM의 발생 시간(Failure Time)을 측정했다. 측정 조건은 W/L=3.5/300 um 소자에 전류 밀도(current density)를