Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2016.02a
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- Pages.214.1-214.1
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- 2016
캐패시턴스 측정을 통한 대기압 플라즈마 젯 진단에 관한 연구
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Hwang, Sang-Hyeok
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- Lee, Seung-Jun ;
- Lee, Ye-Seul ;
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Choe, Jin-U
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Kim, U-Jae
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Park, Hye-Jin
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Jo, Tae-Hun
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Yun, Myeong-Su
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황상혁
(광운대학교 전자바이오물리학과)
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- 이승준 (광운대학교 전자바이오물리학과) ;
- 이예슬 (광운대학교 전자바이오물리학과) ;
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최진우
(광운대학교 전자바이오물리학과)
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김우재
(광운대학교 전자바이오물리학과)
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박혜진
(광운대학교 전자바이오물리학과)
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조태훈
(광운대학교 전자바이오물리학과)
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윤명수
(광운대학교 전자바이오물리학과)
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권기청
(광운대학교 전자바이오물리학과)
- Published : 2016.02.17
Abstract
최근 대기압 플라즈마의 활용분야는 기판의 표면처리, 바이오 분야 등에 널리 활용되고 있지만, 현재까지 정립된 대기압 플라즈마 분석법은 광학적, 전기적 방법으로 이를 통해 대기압 플라즈마를 분석하는데 어려움을 겪고 있다. 가장 널리 사용되는 OES(Optical Emission Spectroscopy) 측정법의 경우에는 플라즈마로부터 방출되는 광을 측정하여, 방출 강도로부터 플라즈마 밀도를 얻는데 어려운 점이 있다. 전기적 진단법 중 하나인 랑뮤어 탐침은 주로 진공장비에서만 사용가능하며, 대기압플라즈마에서 직접 접촉하여 플라즈마에 영향을 주어, 플라즈마 밀도를 정확히 측정하기 어렵다. 본 연구에서는 대기압 플라즈마의 캐페시턴스을 측정하여 플라즈마의 밀도를 측정하였다. DC power supply에서 발생된 DC전원을 인버터를 통해서 AC전원으로 변환한 뒤, Ar가스를 석영관에 주입하여 대기압 플라즈마 젯를 발생시켰다. 발생된 대기압 플라즈마를 석영관 외부 전극 사이에 캐패시턴스로 플라즈마 밀도를 측정하였다. Ar 가스 유량에 따라 플라즈마 밀도를 변화를 살펴보았다.