실리콘 기반 포켓 구조 터널링 전계효과 트랜지스터의 최적 구조 조건

Structure Guide Lines of Silicon-based Pocket Tunnel Field Effect Transistor

  • 안태준 (한경대학교 전기전자제어공학과) ;
  • 유윤섭 (한경대학교 전기전자제어공학과)
  • Ahn, Tae-Jun (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University) ;
  • Yu, Yun Seop (Department of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University)
  • 발행 : 2016.05.25

초록

이 논문은 포켓 구조 터널링 전계효과 트랜지스터의 구조에 대한 여러 가지 조건을 소개한다. 포켓의 길이는 길어질수록 $I_{on}$이 더 증가하고, 포켓의 두께는 감소할수록 $I_{on}$이 증가하고, 3nm 보다 얇아질 때 SS는 증가한다. 게이트 절연체는 고유전율 물질을 사용하는 것이 적절하다.

This paper introduces about the structure guide lines of pocket tunneling Field effect transistor. As the pocket length or thickness increase, on-current $I_{on}$ increases. As the pocket thickness is less than 3nm, subthreshold swing (SS) increase. As the dielectric constants of the gate insulator increases, the performance of on-current and subthreshold swing enhances.

키워드