Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

An evaluation method on the surface characteristics of ultra-thin copper foil using chemical copper plating

화학 동도금을 이용한 캐리어 극박 동박 표면 특성 평가에 관한 연구

  • 허진영 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ;
  • 이홍기 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ;
  • 구석본 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ;
  • 전준미 (한국생산기술연구원 표면처리연구실용화그룹 소재분석센터) ;
  • 김익범 ((주)와이엠티)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

본 연구는 알루미늄 및 구리 캐리어 소재상에 화학 동도금(Chemical Copper)으로 형성된 극박 동박 표면 및 석출막의 특성 평가에 관한 연구이다. 평가에 사용된 극박 동박은 현재 캐리어박 선점률이 높은 M, J, Y사의 제품이다. 최상층 구리 표면에서 조직, 조성, 표면조도를 평가하였고, 단면 평가에서는 copper layer 및 nodule layer, adhesion layer, anti-corrosion layer, release layer, substrate에서의 물성 및 특성을 평가하였다.

Keywords