Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DLC 증착 효율 향상을 위한 DBD표면처리 특성 및 증착된 DLC 특성 분석

  • 양종근 (제주대학교 에너지공학과) ;
  • 고민국 (제주대학교 에너지공학과) ;
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  • 현수연 (제주대학교 에너지공학과) ;
  • 강제원 (제주대학교 에너지공학과) ;
  • 이헌주 (제주대학교 에너지공학과)
  • Published : 2014.02.10
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Abstract

이 실험은 DLC 증착의 효율향상을 위한 것이다. 이에 따라 대기압에서 DBD를 이용하여 샘플의 surface free energy를 향상시켜 다이아몬드 증착공정의 효율을 향상시켰다. DBD공정은 2 kW의 전압과 Ar 2000sccm 그리고 방전시간을 5분으로 고정하여 실험하였다. 다이아몬드증착은 PECVD기법을 이용하여 실험하였다. 실험장비로는 DC Arc 플라즈마트론을 이용하여 실험하였다. AFM, SEM, XRD, Tribology를 이용하여 다이아몬드 증착효율 향상 및 특성에 대하여 분석하였으며 DBD를 이용한 표면처리가 증착효율을 향상에 기여하는 것을 확인하였다.

Keywords