Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2014.02a
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- Pages.168.2-168.2
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- 2014
HIPIMS를 활용한 SiO2 반사방지막 코팅 제조 및 특성분석
Abstract
반사방지막 코팅(Anti-reflection coating)은 태양전지(Solar cell), 발광다이오드(LED) 등의 반사율을 낮추어 효율을 증대시키기 위하여 사용되고 있다. 본 실험에서는 유리 기판 위에 실리콘 타겟을 이용한 반응성 high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) 장비를 활용하여, 높은 공정 압력(High-pressure)에서 펄스폭(Pulse width)을 조절하여
Keywords
- Anti-reflection coating;
- High-pressure deposition;
- high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS);
- Oblique-angle deposition;
- Solar cell;
- LED