Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Use of camera to monitor a RF source power-induced plasma

카메라를 이용한 RF 소스전력의 변화에 따르는 플라즈마 감시

  • 이주공 (세종대학교 전자공학과) ;
  • 김병환 (세종대학교 전자공학과)
  • Published : 2013.05.30
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Abstract

Web camera를 이용한 플라즈마 모니터링은 플라즈마 내의 넓은 범위를 실시간으로 측정할 수 있게 개발했다. 이를 통하여 Particle count의 변화를 분석하고 이에 따라 플라즈마의 상태를 변화를 알 수 있다. 이의 성능을 알아보기 위해 플라즈마 감시에 사용되고 있는 OES와 비교 분석 하였다.

Keywords