Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.1269-1270
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Experimental analysis and optimization of a photo process for New device CD Uniformity

새로운 액정모드 디스플레이 휘도 균일성 향상을 위한 포토리소그래피 공정 방안

김철호 (삼성전자 공과대학교) ;
신대근 (삼성디스플레이 PC 기술팀) ;
김장겸 (삼성디스플레이 개발팀)

Published : 2013.05.29

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