Surface Height Measurement of Resolution Target by Digital Holography

Digital Holography를 이용한 Resolution Target의 표면 단차 측정

  • 선상우 (조선대학교 대학원 첨단부품소재공학과) ;
  • 김경석 (조선대학교 기계설계공학과) ;
  • 양승필 (동아인재대학교 안경광학과) ;
  • 장호섭 (조선대학교 레이저응용신기술개발연구센터) ;
  • 김현호 (조선대학교 대학원 첨단부품소재공학과) ;
  • 정현일 (조선대학교 대학원 첨단부품소재공학과)
  • Published : 2013.05.29