A design of Ion-miller for ion beam measuring method

단면 가공용 이온 밀링 장치의 이온 빔 크기 측정 방법 연구

  • 원종한 (서울과학기술대학교 NID 대학원) ;
  • 박만진 (한국전자기계융합기술원) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 글로벌융합산업공학과)
  • Published : 2013.05.29