Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
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Pages.773-774
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2013
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A design of Ion-miller for ion beam measuring method

단면 가공용 이온 밀링 장치의 이온 빔 크기 측정 방법 연구

원종한 (서울과학기술대학교 NID 대학원) ;
박만진 (한국전자기계융합기술원) ;
장동영 (서울과학기술대학교 글로벌융합산업공학과)

Published : 2013.05.29

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