Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2013.05a
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- Pages.613-614
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
New patterning method of metal nano-structure method with hot press
열가압을 이용한 금속 나노 구조체 패터닝 기술
- Eom, H.J. ;
- Park, I.K. ;
- Jeong, J.H. ;
- Kim, C.H. ;
- Sung, S.K. ;
- Choi, J.H.
- 엄현진 (한국과학기술원 기계공학과) ;
- 박인규 (한국과학기술원 기계공학과) ;
- 정준호 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
- 김철현 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
- 성상근 (한국기계연구원 나노공정연구실) ;
- 최준혁 (한국기계연구원 나노공정연구실)
- Published : 2013.05.29