Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2013.05a
/
Pages.463-464
/
2013
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Optimization Design of Non-Contact Multi-pad Hand Device

효율적 웨이퍼 이송을 위한 비접촉 멀티패드 핸드장치의 최적설계

김옥래 (한국생산기술연구원) ;
김종형 (서울과학기술대학교) ;
고현준 (한국생산기술연구원) ;
박균명 (한국생산기술연구원) ;
유지성 (서울과학기술대학교) ;
황교일 (서울과학기술대학교) ;
이종훈 (서울과학기술대학교)

Published : 2013.05.29

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords