Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2013.05a
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  • Pages.143-144
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  • 2013
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Development of a 3 MHz Megasonic Cleaning System for Nano-patterns

나노패턴용 3 MHz 급 메가소닉 세정시스템 개발

  • 김현세 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 이양래 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 임의수 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부)
  • Published : 2013.05.29
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Abstract

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