Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.02a
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- Pages.330-332
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- 2013
플라즈마 표면 처리를 이용한 ZnO 습식성장 패터닝 기술 연구
- Lee, Jeong-Hwan ;
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Park, Jae-Seong
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Park, Seong-Eun
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Lee, Dong-Ik
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Hwang, Do-Yeon
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- Kim, Seong-Jin ;
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Sin, Han-Jae
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Seo, Chang-Taek
- 이정환 (구미전자정보기술원 상용화기술연구팀) ;
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박재성
(구미전자정보기술원 상용화기술연구팀) ;
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박성은
(구미전자정보기술원 상용화기술연구팀) ;
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이동익
(구미전자정보기술원 상용화기술연구팀) ;
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황도연
(구미전자정보기술원 상용화기술연구팀) ;
- 김성진 (금오공과대학교 신소재공학과) ;
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신한재
(구미전자정보기술원 상용화기술연구팀) ;
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서창택
(구미전자정보기술원 상용화기술연구팀)
- Published : 2013.02.18
Abstract
소 분위기에서 플라즈마 표면 처리의 경우 기판 표면에 존재하는 수소와 탄소 유기물들이 산소와 반응하여