Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.08a
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- Pages.194-194
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- 2013
수소 이온 조사와 후 열처리 공정에 따른 InGaZnO 박막 트랜지스터의 소자 특성과 반도체 박막 특성 연구
- Kim, Bu-Gyeong ;
- Park, Jin-Seong ;
- Song, Jong-Han ;
- Chae, Geun-Hwa ;
- Kim, Jun-Gon ;
- Jeong, Gwon-Beom
- 김부경 (단국대학교 물리학과) ;
- 박진성 (한양대학교 신소재공학부) ;
- 송종한 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
- 채근화 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
- 김준곤 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
- 정권범 (단국대학교 물리학과)
- Published : 2013.08.21
Abstract
본 연구에서는 a-IGZO 활성층에 다른 dose량의 수소 이온을 조사하여 박막 트랜지스터 소자의 효과를 알아보고, 수소 이온 조사 후, 이온 조사에 따른 불안정한 소자 특성을 안정화시킬 목적으로 후 열처리에 따른 소자 특성을 알아보았다. a-IGZO 활성층에 수소이온을 110keV의 에너지로 가속하여, 수소 이온 조사량을