한국컴퓨터정보학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference)
- 한국컴퓨터정보학회 2013년도 제48차 하계학술발표논문집 21권2호
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- Pages.343-344
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- 2013
FRAM용 박막의 열처리에 따른 전기적 특성
Electrical Properties of Thin Film for FRAM according to Heat Treatment
- 박건호 (청강문화산업대학교 모바일스쿨 이동통신전공)
- Park, Geon-Ho (School of Mobile Communication, Chungkang College of Cultural Industries)
- 발행 : 2013.07.17
초록
본 연구에서는 RF sputtering법을 이용하여 Si기판 위에 SBN 박막을 증착시켜서, 온도 범위 600~800[
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