한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

스핀코팅법으로 성장 된 F-ZnO 막의 도핑농도와 열처리 온도에 따른 효과

Effects of Doping Concentrations and Thermal Annealing on F-ZnO thin films Grown by Spin-coating Method

  • 윤현식 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 남기웅 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 박형길 (인제대학교 나노공학부) ;
  • 김소아람 (인제대학교 나노메뉴팩쳐링연구소) ;
  • 임재영 (인제대학교 나노공학부)
  • 발행 : 2012.11.08
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초록

ZnO는 전기적, 광학적 특성으로 인해 여러 연구 분야에서 주목을 받고 있으며, F의 도핑농도에 따른 특성을 알아보기 위해 Si 기판 위에 스핀코팅법으로 F-ZnO 막을 성장 시켰다. 도핑 농도와 열처리 온도에 따른 구조적 및 광학적 특성을 조사하기 위해 scanning electron microscopy, X-ray diffraction (XRD), 그리고 photoluminescence (PL)를 이용하였다. PL 측정 결과 도핑농도가 3%일 때, NBE 피크가 가장 큰 세기를 보였으며, 열처리가 증가함에 따라서 피크의 세기가 증가하였다.

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