Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.659-660
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study of Design 5-axis Stage for Vacuum

진공용 5축 스테이지의 설계에 관한 연구

정종규 (국민대학교 기계설계학과) ;
김경훈 (국민대학교 기계설계학과) ;
원종진 (국민대학교 기계시스템공학부) ;
정재일 (국민대학교 기계시스템공학부)

Published : 2012.05.30

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Abstract

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