공압서보밸브를 이용한 제진대의 정밀 위치 복원 제어

Precision leveling control of Pneumatic Vibration Isolator using pneumatic servo valve

  • 정규철 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 송원길 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 이현준 (알엠에스 테크놀러지(주))
  • 발행 : 2012.05.30