한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.617-618
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
반도체 장비의 미세진동제어를 위한 MR 댐퍼의 설계
Design of MR Damper for Tiny Vibration Control of Semiconductor Equipment
- 발행 : 2012.05.30