한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

초음파원자현미경 캔틸레버의 접촉공진주파수 시뮬레이션

Simulation of Contact Resonance Frequency of Ultrasonic AFM Cantilever

  • 한유하 (서울과학기술대학교 NID 대학원) ;
  • 박익근 (서울과학기술대학교 기계공학과) ;
  • 곽동열 (서울과학기술대학교 NID 대학원) ;
  • 김용권 (서울과학기술대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2012.05.30
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