Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2012.05a
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  • Pages.487-488
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  • 2012
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Design of a 1 MHz Near-field Megasonic Waveguide using Finite Element Method

유한요소해석을 이용한 1 MHz Near-field 메가소닉 진동자 설계

  • 김현세 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 이양래 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부) ;
  • 임의수 (한국기계연구원 극한기계부품연구본부)
  • Published : 2012.05.30
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Abstract

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