Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.465-466
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
Study on the mechanism and air flow of SMIF (Standard Mechanical Interface) to remove fluid particles at Semiconductor
반도체 유동성 미세먼지 제거를 위한 SMIF(Standard Mechanical InterFace) 내부 기류 및 Mechanism 연구
- Choi, J.S. ;
- Shin, K.C. ;
- Lim, G.H. ;
- Sung, J.H. ;
- Moon, S.Y. ;
- Kim, K.H.
- 최진성 (삼성전자 반도체 연구소) ;
- 신규창 (삼성전자 반도체 연구소) ;
- 임지호 (삼성전자 반도체 연구소) ;
- 성재환 (삼성전자 반도체 연구소) ;
- 문성용 (삼성전자 반도체 연구소) ;
- 김경호 (삼성전자공과대학교)
- Published : 2012.05.30