Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.457-458
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A study on the characteristics of the exposure process about the Undercut Defect of Blue Resist Pattern in LCD Color filter

LCD 컬러 필터 Blue 레지스트 패턴의 Undercut 불량 발생에 대한 노광 공정 특성 연구

박상희 (삼성전자공과대학교 디스플레이공학과) ;
강민 (삼성전자공과대학교 디스플레이공학과) ;
서동영 (삼성전자공과대학교 디스플레이공학과) ;
공향식 (삼성전자) ;
노현기 (삼성전자)

Published : 2012.05.30

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Abstract

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