Fabrication of 3-Dimensional Stacked Package using Fan-Out Wafer Level Process

팬아웃 웨이퍼 레벨 공정을 이용한 3 차원 적층패키지의 제조

  • 김형준 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 이재학 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 하태호 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 이창우 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 송준엽 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실)
  • Published : 2012.05.30