한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.149-150
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2012
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

웨이퍼 평탄도 향상을 위한 단면래핑 공정 인자 제어

Controling of Process Parameters to Improve Flatness of Wafers in Sigle Side Lapping

이태경 (한국생산기술연구원) ;
김형재 (한국생산기술연구원) ;
이상직 (한국생산기술연구원) ;
김도연 (한국생산기술연구원) ;
박철진 (한국생산기술연구원) ;
정해도 (부산대학교 기계공학부)

발행 : 2012.05.30

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