Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.147-148
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Study on the Influence of Ingot Feed Speed on Accuracy of Wafer Shape in Multi Wire Saw Process

멀티와이어쏘 공정에서 잉곳 절입속도가 웨이퍼 형상 정밀도에 미치는 영향에 관한 연구

김도연 (한국생산기술연구원 정형가공시스템센터) ;
김형재 (한국생산기술연구원 정형가공시스템센터) ;
김철민 (한국생산기술연구원 정형가공시스템센터) ;
박철진 (한국생산기술연구원 정형가공시스템센터) ;
정해도 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2012.05.30

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Abstract

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