Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.10a
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Pages.831-832
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Study on fallen particles caused in CVD process

반도체 막질 증착 공정에서의 낙성 particle 개선 연구

남기원 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
신권호 (삼성전자(주)) ;
정상욱 (삼성전자(주)) ;
김효준 (삼성전자(주))

Published : 2012.10.24

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Abstract

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