Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.10a
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Pages.657-658
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Measuring of crucible temperature for constructing sapphires ingot grower

사파이어 웨이퍼 성장장치 구성을 위한 용탕온도 측정 시스템

이승우 (한국기계연구원 첨단생산장비연구본부) ;
김태형 (현빈테크 기술연구소) ;
정영진 (현빈테크 기술연구소)

Published : 2012.10.24

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Abstract

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