3 차원 칩 적층을 위한 초미세범프 접합부의 금속간화합물 성장 거동 분석

Interfacial Reaction Analysis of Microbump Joints for 3D Chip Stacking

  • 박종명 (안동대학교 신소재공학부 청정소재기술연구센터) ;
  • 김준범 (안동대학교 신소재공학부 청정소재기술연구센터) ;
  • 박종진 (안동대학교 신소재공학부 청정소재기술연구센터) ;
  • 박영배 (안동대학교 신소재공학부 청정소재기술연구센터)
  • 발행 : 2012.10.24