고미세 근접장 광 패터닝을 위한 플라즈몬 팁 설계 및 제작기술

Fabrication of Plasmonic Tip for High Resolution Near-Field Patterning

  • 장원석 (한국기계연구원 나노역학실) ;
  • 김진범 (LG 전자 미래소자연구실)
  • 발행 : 2012.10.24