Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.10a
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Pages.319-320
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Focusing Error Signal Detection and Optical Offset Calibration for Laser Direct Writing

레이저 직접 묘화법을 위한 포커싱 오차 신호 검출 및 광학적 오프셋 보상 방법

임형준 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
김기홍 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
최기봉 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
이재종 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
이성휘 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
안현진 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
류지형 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스학과)

Published : 2012.10.24

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Abstract

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