Design and Analysis of Chip Bonding Head for Embedded Wafer Level Package (EWLP) Application

Embedded Wafer Level Package (EWLP) 적용을 위한 본더 헤드 설계 및 해석에 대한 연구

  • 김형준 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 이재학 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 하태호 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 이창우 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 송준엽 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 서민석 ((주)예스티 기술연구소)
  • Published : 2012.10.24