Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)

The Korea Institute of Information and Commucation Engineering (한국정보통신학회)
권호 표지

Analysis of short-shannel effect for doping concentration of DGMOSFET - On threshold Voltage

더블게이트MOSFET의 도핑농도에 따른 단채널 효과 분석 - 문턱전압을 중심으로

  • Ko, Hyo-Geun (Department of Electronic Eng., Kunsan National University) ;
  • Han, Ji-Hyung (Department of Electronic Eng., Kunsan National University) ;
  • Jung, Hak-Kee (Department of Electronic Eng., Kunsan National University)
  • Published : 2012.05.26
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Abstract

Because the Double gate MOSFET has two gates, it has more efficient on controling current than the exisiting MOSFET, and it can also decrease short channel effects in the nano-device. In this study, during the manufacturing the Double gate MOSFET, we will analyze the change of threshold voltage according to doping concentration that makes a significant impact on short channel effects. One of the structural factors that affect the threshold voltage on the Double gate MOSFET is the doping concentration, and it is very important device parameter. In this paper, we can find that the threshold voltage became larger when the doping concentration increased from $10^{15}cm^{-3}$ to $10^{19}cm^{-3}$.

더블게이트MOSFET는 두 개의 게이트를 가지고 있기 때문에 전류제어 능력이 기존 MOSFET보다 두배에 가깝고 나노소자에서 단채널 효과를 감소시킬 수 있다는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 더블게이트MOSFET 제작시 단채널 효과에 큰 영향을 미치는 도핑농도에 따른 문턱전압의 변화를 분석하고자 한다. 더블게이트MOSFET에서 문턱전압에 영향을 미치는 구조적 요소 중 도핑농도는 매우 중요한 소자파라미터이다. 본 논문에서는 도핑농도를 $10^{15}cm^{-3}$에서 $10^{19}cm^{-3}$까지 변화시키면서 문턱 전압을 분석한 결과 도핑농도가 증가하면 문턱전압도 커짐을 알 수 있었다.

Keywords