Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.08a
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- Pages.299-299
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- 2012
증착 환경 변화에 따른 인이 첨가된 ZnO 박막의 물성연구
- Jeong, Yeong-Ui ;
- Lee, Seung-Hwan ;
- Hwang, Seon-Min ;
- Jo, Chang-U ;
- Bae, Jong-Seong ;
- Park, Seong-Gyun
- 정영의 (부산대학교 물리학과) ;
- 이승환 (부산대학교 물리학과) ;
- 황선민 (부산대학교 물리학과) ;
- 조창우 (부산대학교 물리학과) ;
- 배종성 (한국기초과학지원연구원) ;
- 박성균 (부산대학교 물리학과)
- Published : 2012.08.20
Abstract
투명전도산화물 박막은 디스플레이, 태양전지, 압전소자 등 다양한 응용분야에 많이 이용되고 있는 소재이다. 그 중에서 현재 산업에서 활용 빈도가 높은 투명전도막의 재료는 ITO를 기반으로 하는 물질이다. 하지만 인듐의 높은 생산단가와 플라즈마 노출시 열화로 인한 문제점 때문에 기존의 ITO를 대체하기 위한 새로운 재료에 관심이 증대되고 있다. 본 연구에서는 대표적인 ITO 대체 물질 중의 하나인 ZnO 박막에 대해서 증착환경변화에 따른 물성변화를 조사하였다. 먼저 대기중에서 안정화된 ZnO 박막을 얻기 위해서 인(P) 2% 첨가된 ZnO 세라믹을 고상반응법으로 제작하고, 펄스레이저 증착법을 이용하여 Al2O3(0001)기판에 산소분압을 30~150 mTorr로 변화를 주어 P-ZnO 박막을 제작하였다. 이 때 증착온도는