Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.08a
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- Pages.164-164
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- 2012
냉음극 변압기 플라즈마와 TEOS 소스를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착
- Lee, Je-Won ;
- No, Gang-Hyeon ;
- Song, Hyo-Seop ;
- Kim, Seong-Ik ;
- Lee, Eun-Ji ;
- Lee, Se-Hui ;
- Jo, Gwan-Sik
- 이제원 (인제대학교 나노공학부/나노메뉴팩쳐링연구소) ;
- 노강현 (인제대학교 나노공학부/나노메뉴팩쳐링연구소) ;
- 송효섭 (인제대학교 나노공학부/나노메뉴팩쳐링연구소) ;
- 김성익 (인제대학교 나노공학부/나노메뉴팩쳐링연구소) ;
- 이은지 (인제대학교 나노공학부/나노메뉴팩쳐링연구소) ;
- 이세희 (인제대학교 나노공학부/나노메뉴팩쳐링연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노메뉴팩쳐링연구소)
- Published : 2012.08.20
Abstract
저진공 (>100 mTorr)에서 냉음극 변압기 전원 소스를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 시스템을 개발하였다. 또한 이 장치를 이용하여 Tetraethylorthosilicate (TEOS)를 기화시켜 이산화규소 (