Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.08a
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- Pages.133-133
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- 2012
진공 부품용 플라즈마 전해산화 피막과 Anodizing 피막의 특성 비교
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Min, Gwan-Sik
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Yun, Ju-Yeong
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Sin, Yong-Hyeon
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- Cha, Deok-Jun ;
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Gang, Du-Hong
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Seong, Gi-Hun
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Kim, Seong-Cheol
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Kim, Jin-Tae
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민관식
(한국표준과학연구원)
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윤주영
(한국표준과학연구원)
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신용현
(한국표준과학연구원)
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- 차덕준 (군산대학교 물리학과) ;
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강두홍
((주)아스플로)
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성기훈
((주)아스플로)
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김성철
((주)아스플로)
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김진태
(한국표준과학연구원)
- Published : 2012.08.20
Abstract
플라즈마 전해산화(Plasma Electrolytic Oxidation;PEO) 피막은 Anodizing 피막에 비해 화학 부식성, 플라즈마 부식성 등의 특성이 뛰어나지만 표면 거칠기는 Anodizing 피막이 우수한 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 PEO 피막의 제작시 사용된 Power Supply의 펄스 변조(PAM, PWM 방식)을 통하여 표면 거칠기를 제어하는 방법에 대한 실험을 수행하였다. 그리고 펄스 변조 전후의 시편의 내전압과 플라즈마 부식성 등의 특성을 비교하였다. 또한 펄스 변조 전후 PEO 시편과 Anodizing 시편의 표면 거칠기, 내전압, 플라즈마 부식성 등의 특성을 비교하였다.