Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
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- Pages.601-601
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- 2012
High Mobility, High Work Function 특성을 가지는 ITZO의 박막 분석과 실리콘 이종접합 태양전지 적용에 관한 연구
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An, Si-Hyeon
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- Kim, Seon-Bo ;
- Jang, Ju-Yeon ;
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Jang, Gyeong-Su
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Park, Hyeong-Sik
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- Song, Gyu-Wan ;
- Choe, U-Jin ;
- Choe, Jae-U ;
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Lee, Jun-Sin
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안시현
(성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 김선보 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 장주연 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
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장경수
(성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
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박형식
(성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 송규완 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 최우진 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
- 최재우 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
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이준신
(성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과)
- Published : 2012.02.08
Abstract
본 연구는 Zr이 doping된 ITO target (ITO:Zr)을