Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

산소 반응성 스퍼터링을 이용한 TCO의 일함수 변경과 이종접합 태양전지 적용에 관한 연구

  • 안시현 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 김선보 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 장경수 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 최우진 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 최재우 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 박형식 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 장주연 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 송규완 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 이준신 (성균관대학교 정보통신공학부 전기전자컴퓨터공학과)
  • Published : 2012.02.08
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Abstract

실리콘 이종접합 태양전지는 diffused dopant를 이용하여 high conductivity의 emitter를 가지는 기존의 crystalline silicon 태양전지와는 다르게 a-Si:H를 이용한 low conductivity emitter 때문에 TCO를 front electrode 및 anti-reflection layer로 사용한다. 하지만 TCO와 emitter사이의 work function mismatch에 의한 band-offset이 발생하고 photo-generation된 carrier의 injection을 막아 효율 상승을 제한하게 된다. 본 연구는 산소 반응성 스퍼터링을 통한 front TCO의 일함수 변경과 이에 따른 TCO와 emitter 계면에 존재하는 band-offset 변화에 대하여 분석하였다. 특히 산소 분압에 따른 front TCO의 일함수 변화에 따라 개방전압 및 단락전류 변화가 두드러지게 나타났으며, 직렬저항 성분 변화에 따른 충진률 변화에 따른 효율상승을 얻을 수 있었다.

Keywords