Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.1053-1054
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Design of a wide and uniformly illuminating optical system for wafer bonding inspection

웨이퍼 본딩 검사를 위한 대면적 균일 조영 광학계 설계

김진환 (한국과학기술원 기계공학과) ;
권원식 (한국과학기술원 기계공학과) ;
이형철 (한국과학기술원 기계공학과) ;
김경수 (한국과학기술원 기계공학과) ;
김수현 (한국과학기술원 기계공학과)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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