한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

진동 측정용 켄티레버를 이용한 원자현미경의 진동 제거 알고리즘

Atomic Force Microscope(AFM) Vibration Reduction Algorithm using a Cantilever as a Vibration sensor

  • 정지성 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정종규 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 김철수 (한국자동차부품연구소) ;
  • 박기환 (광주과학기술원 기전공학과)
  • 발행 : 2011.06.01
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