Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.753-754
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

A Study of TSV Drilling Formation using Picoseconds Laser

피코초 레이저를 이용한 TSV 형성에 대한 연구

  • 조용권 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 서정 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ;
  • 신동식 (한국기계연구원 광응용기계연구실)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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